| 000 | 01523nam2a2200229 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012575235 | ||
| 005 | 20250624073012.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012575235 | ||
| 090 |
_a12504140 _c12504140 |
||
| 100 | _a20210805d2020 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 200 | 1 |
_aМеждународный форум "Микроэлектроника-2020", ч. 3. 6-я Международная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", Республика Крым, г. Ялта, 28 сентября - 3 октября 2020 г. _eсборник докладов |
|
| 210 |
_d2020 _aБ. м. |
||
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\Per\556718 _12001#$aНаноиндустрия$eнаучно-технический журнал$vТ. 13, 5s (102), ч. 3 _93071390 _cМосква _d2007 - _nВолна _oнаучно-технический журнал _tНаноиндустрия _x1993-8578 _vТ. 13, 5s (102), ч. 3 |
|
| 710 | 1 | 2 |
_a"Микроэлектроника-2020", международный форум _eпгт. Гурзуф, Ялта _9738614 _3RU\NLR\AUTH\880537645 |
| 711 | 1 | 2 |
_a"Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", международная научная конференция _d6 _eпгт. Гурзуф, Ялта _f2020 _9761774 _3RU\NLR\AUTH\880548231 |
| 852 |
_aNLR _jП11/5443 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||