| 000 | 04055nam0a2200433 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012905260 | ||
| 005 | 20230303173317.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7731-1033-0 _9350 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-22-054664 _9КН-П-22-4742 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012905260 | ||
| 035 | _a(RuMoRGB)011180768 | ||
| 090 |
_a12595518 _c12595518 |
||
| 100 | _a20221010d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 100zy | ||
| 181 | 0 |
_ai _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_a62 Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, сотрудников, аспирантов и студентов ВГТУ _iCекции "Материалы и технология полупроводниковых приборов", "Проектирование и надежность полупроводниковых приборов и ИС" _eматериалы конференции (г. Воронеж, 27 апреля 2022 г.) _fМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации, ФГБОУ ВО "Воронежский государственный технический университет" _gредакционная коллегия: Строгонов А.В. - д-р техн. наук, проф. - ответственный редактор [и др.] |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aВоронеж _cФГБОУ ВО "Воронежский государственный технический университет" _d2022 |
||
| 215 |
_a44 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 330 | _aВ представленных докладах нашли отражение результаты экспериментальных исследований в области твердотельной электроники и микроэлектроники, проводимых учеными, аспирантами, магистрантами и студентами старших курсов кафедры полупроводниковой электроники и наноэлектроники Воронежского государственного технического университета. Материалы сборника соответствуют научному направлению "Микро- и наноэлектронные устройства и системы" и перечню критических технологий Российской Федерации, утвержденному Президентом Российской Федерации | ||
| 517 | 1 | _aМатериалы и технология полупроводниковых приборов | |
| 517 | 1 | _aПроектирование и надежность полупроводниковых приборов и ИС | |
| 606 |
_aИнтегральные схемы _jСъезды, совещания и т.п _91035695 _3RU\NLR\AUTH\66398010 |
||
| 606 | 1 |
_aПолупроводниковая электроника _jСъезды, совещания и т.п _92543985 _3RU\NLR\AUTH\661505848 |
|
| 675 |
_a621.382(082) _v4 |
||
| 686 |
_a32.852я42 _2rubbks |
||
| 686 | 1 | _aЗ852я431 | |
| 686 | 1 | _aЗ844.15я431 | |
| 702 | 1 |
_4340 _7ca _8rus _aСтрогонов _bА. В. _gАндрей Владимирович _9104396 _3RU\NLR\AUTH\77121471 |
|
| 710 | 0 | 2 |
_aВоронежский государственный технический университет _bНаучно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, сотрудников, аспирантов и студентов _d62 _f2022 _9814753 _3RU\NLR\AUTH\880574307 |
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||