000 01829nam0a2200325 4500
001 RU\NLR\bibl\825326
005 20250614140224.0
010 _a5-7629-0604-3
_9100
021 _aRU
_b2005-33123
_91662
035 _a(NLR Aleph) 000814227
090 _a1260516
_c1260516
100 _a20050729d2004 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизические основы электронно-ионной технологии
_eтекст лекций
_e[для студентов факультета электроники, обучающихся по специальности 071400]
_fВ.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин
_gМ-во образования и науки РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"
210 _aСанкт-Петербург
_cЛЭТИ
_d2004
215 _a42,[2] с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр. в конце кн. (6 назв.)
606 1 _aИнтегральные схемы
_jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы
_xПроизводство
_xЭлектронно-ионная технология
_92385542
_3RU\NLR\auth\661422989
606 1 _aИнтегральные схемы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_xЭлектронно-ионная технология
_92385542
_3RU\NLR\auth\661422989
686 _aЗ844.15-06я73-2
700 1 _aВольпяс
_bВ. А.
_gВалерий Александрович
_4070
701 1 _aТумаркин
_bА. В.
_gАндрей Вилевич
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_c20050729
_grcr
801 1 _aRU
_bNLR
_c20050729
830 _aавт. по кн.
942 _cBOOK
980 _aNB