| 000 | 02381nam2a2200289 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012920438 | ||
| 005 | 20251227175613.0 | ||
| 021 |
_aRU _bКН-П-22-061342 _9КН-П-22-5305 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012920438 | ||
| 090 |
_a12642759 _c12642759 |
||
| 100 | _a20221025d2022 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 111zy | ||
| 200 | 1 |
_aАвтоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем _aРазработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств |
|
| 210 | _d2022 | ||
| 215 |
_aVIII, 69 с. _cил., цв. ил., табл. |
||
| 300 | _aРез. англ. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 320 | _aИмен. указ. авт. статей: с. 69 | ||
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\BIBL_A\012920429 _12001#$aПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2022 (МЭС - 2022)$eXI Всероссийская научно-техническая конференция$eсборник трудов$fФедеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук$vВып. 2 _912642728 _cМосква _d2022 _fФедеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук _nИППМ РАН _o(МЭС - 2022) : XI Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов _tПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2022 _vВып. 2 |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jСъезды, совещания и т.п _xПроектирование _xАвтоматизация _91192722 _3RU\NLR\AUTH\66481634 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.15-02-5-05я431(2) | |
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||