000 01227nam1a2200301 i 4500
001 RU\NLR\bibl\826648
005 20241102110729.0
035 _a(NLR Aleph) 000815544
090 _a1268371
_c1268371
100 _a20050802g20049999k y0rusy50 ca
101 1 _arus
_ceng
102 _aRU
105 _a||||f |||||
200 1 _aЭнциклопедия технологии полупроводниковых материалов
_fпод ред. К.А. Джексона и В. Шретера
_gпер. с англ. под ред. проф. Э.П. Домашевской
210 _aВоронеж
_cВодолей
_d2004
215 _d26
300 _aЗагл. ориг.: Handbook of semiconductor technology
454 0 _12001#$aЗагл. ориг.: Handbook of semiconductor technology
_tЗагл. ориг.: Handbook of semiconductor technology
463 0 _1001794695
463 0 _10012001315
606 _aПолупроводники
_xПроизводство
_91423342
_3RU\NLR\auth\66289574
686 _aЗ843.308
702 1 _aДжексон
_bК. А.
_gКеннет А.
_4340
801 0 _aRU
_bNLR
_c20050802
_grcr
801 1 _aRU
_bNLR
_c20050802
852 _aNLR
_j2005-7/2111
942 _cBOOK