| 000 | 02733nam0a2200457 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012680682 | ||
| 005 | 20260408191158.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7629-2816-8 _947 |
||
| 021 |
_aRU _b2021-55309 _9КН-П-4325 |
||
| 035 | _a(RuMoRGB)010767952 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012680682 | ||
| 090 |
_a12814012 _c12814012 |
||
| 100 | _a20220111d2021 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa j 000zy | ||
| 181 | 0 |
_ai _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aProcesses of micro-and nanotechnology _eучебное пособие _fВ. В. Витько, А. А. Семенов, П. Ю. Белявский [и др.] _gМинобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина) |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aСанкт-Петербург _cИздательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ" _d2021 |
||
| 215 |
_a83, [2] с. _cил. _d21 |
||
| 313 | _aДано краткое описание физических моделей корпускулярного взаимодействия с твердым веществом и аналитический подход к физическим процессам, происходящим при осаждении и травлении пленок в результате ионно-плазменного распыления. | ||
| 320 | _a"List of the recommended lit.": с. 83 | ||
| 320 | _aАвт. указаны на обороте тит. с | ||
| 541 | 1 | _aПроцессы микро- и нанотехнологий | |
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _jУчебные издания для высших учебных заведений _xОсаждение из плазмы _91948329 _3RU\NLR\AUTH\66891033 |
|
| 606 |
_8rus _aТонкие пленки _xНанесение распылением _7ca _jУчебные издания для высших учебных заведений _3RU\NLR\AUTH\661264882 _92089597 |
||
| 610 | 0 | _aнанесение пленочных покрытий | |
| 610 | 0 | _aфотолитография | |
| 610 | 0 | _aмикропрофилирование многокомпанентных материалов | |
| 675 |
_a811.111(075.8) _v4 |
||
| 686 |
_aЗ844.1-06я73-1 _2rubbk |
||
| 686 | 1 | _aЗ844.13-060.7я73-1 | |
| 701 | 1 |
_aVit'ko _bV. V. _gVitalij Valer'evič |
|
| 701 | 1 |
_aSemenov _bA. A. _gAleksandr Anatol'evič |
|
| 701 | 1 |
_aBeljavskij _bP. J. _gPavel Jur'evič |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||