000 02479nam0a2200397 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\022123564
005 20240213140211.0
010 _a978-5-7629-3204-2
_9250
021 _aRU
_bКН-П-23-078407
_9КН-П-23-7922
035 _a(NLR Aleph) 022123564
035 _a(RuMoRGB)012436458
090 _a12814383
_c12814383
100 _a20240201d2023 k y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z 100yy
181 0 _ai3
_baxxe
182 1 _an
200 1 _aТруды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "Вакуумная техника и технологии - 2023", 20-22 июня 2023, Санкт-Петербург
_d30th All-Russian conference with international participation "Vacuum technique and technology - 2023", June 20-22, 2023, St. Petersburg
_fВсероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева [и др.]
_zeng
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aСанкт-Петербург
_cИзд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
_d2023
215 _a396 с.
_cил., табл.
_d29
320 _aБиблиогр. в конце ст.
510 1 _6z01791
_a30th All-Russian conference with international participation "Vacuum technique and technology - 2023", June 20-22, 2023, St. Petersburg
_zeng
606 1 _aТехнологические процессы инновационные
_jСъезды, совещания и т.п
_92105813
_3RU\NLR\AUTH\661576729
606 1 _aВакуумная техника
_jСъезды, совещания и т.п
_92229695
_3RU\NLR\AUTH\661338340
675 _a621.52(082)
_v4
686 1 _aЖ6я431(2)
686 1 _aЗ77я431(2)
710 1 2 _a"Вакуумная техника и технологии - 2023", всероссийская научно-техническая конференция с международным участием
_d30
_eСанкт-Петербург
_9875860
_3RU\NLR\AUTH\880604009
791 1 2 _6z01510
_7ba
_8eng
_a"Vacuum technique and technology - 2023", All-Russian conference with international participation
_d30
_eSaint-Petersburg
_9875861
_3RU\NLR\AUTH\880604010
942 _cBOOK
980 _aNB