| 000 | 01881nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\225367 | ||
| 005 | 20250619105338.0 | ||
| 010 |
_a5-7256-0289-3 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _b2001-50322 _92426 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000221385 | ||
| 090 |
_a1286841 _c1286841 |
||
| 100 | _a20020129d2001 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aБыстрые термические процессы в технологии микроэлектроники _eУчеб. пособие по курсу "Перспектив. процессы технологии микроэлектроники" _e[Для межвуз. использ.] _fЮ. П. Райнова _gМ-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
|
| 210 |
_aМ. _cМИЭТ _d2001 |
||
| 215 |
_a103 с., [1] л. табл. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 99-101 | ||
| 606 | 0 |
_aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная _jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы _xПроизводство _xТепловые процессы _92236668 _3RU\NLR\auth\661342266 |
|
| 606 | 0 |
_aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная _jУчебные издания для высшей школы _xПроизводство _xТепловые процессы _92236668 _3RU\NLR\auth\661342266 |
|
| 675 |
_a621.382.049.77.002:621.78(075.8) _v3 _zrus |
||
| 686 |
_a47 _2rugasnti |
||
| 686 |
_a32.844.1я73 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.1-06я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aРайнова _bЮ. П. _gЮлия Петровна _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRKP _c20020129 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRKP _c20020129 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20020321 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||