| 000 | 01380nam2a2200229 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022149682 | ||
| 005 | 20250625141629.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022149682 | ||
| 090 |
_a12889157 _c12889157 |
||
| 100 | _a20240226d2023 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 200 | 1 | _aТематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем | |
| 210 |
_d2023 _aБ. м. |
||
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM7\1000077403 _12001#$aВестник Российского фонда фундаментальных исследований$fРос. фонд фундам. исслед.$v2023, № 2 (118) [темат. вып.] _94388150 _aРоссийский фонд фундаментальных исследований _cМ. _d1994 - _fРос. фонд фундам. исслед. _tВестник Российского фонда фундаментальных исследований _x1605-8070 _v2023, № 2 (118) [темат. вып.] |
|
| 606 | 1 |
_aСверхбольшие интегральные схемы _jСборники _xМеталлизация _92482214 _3RU\NLR\AUTH\661473416 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.15-060.7я43 | |
| 852 |
_aNLR _jП2/369 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||