000 03244nam0a2200421 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\022183935
005 20240607165109.0
010 _a978-5-7038-6098-4
010 _a978-5-7038-6155-4
_bт. 2
_9100
021 _aRU
_bКН-П-24-010371
_9КН-П-24-1071
035 _a(NLR Aleph) 022183935
090 _a12991338
_c12991338
100 _a20240401d2023 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa j 000yy
181 0 _ai
_baxxe
182 0 _an
200 1 _aВысоковакуумные технологические процессы в приборостроении
_eучебное пособие
_e[для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)]
_fВ. П. Михайлов, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов
_gФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)"
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aМосква
_cИзд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана
_d2023
215 _a213 с.
_cил., табл.
_d24
225 1 _aБиблиотека "Приборостроение"
_fредакционная коллегия: В. А. Шахнов - главный редактор, д-р техн. наук, профессор, чл.-корр. РАН [и др.]
_vт. 2
225 1 _aПриоритет 2030
300 _aНа обороте тит. с. ссылка на электрон. версию изд.
313 _aЭлектронное приборостроение.
320 _aБиблиогр.: с. 163
606 1 _aЭлектронные приборы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_xВакуумное оборудование
_92168584
_3RU\NLR\AUTH\661304632
606 1 _aТонкие пленки
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xНанесение в вакууме
_91835711
_3RU\NLR\AUTH\661122354
686 1 _aЗ85-06-5я73-1
686 1 _aЗ844.13-060.7я73-1
700 1 _7ca
_8rus
_aМихайлов
_bВ. П.
_cд-р техн. наук, электроника
_gВалерий Павлович
_917308
_3RU\NLR\AUTH\7734304
701 1 _aМоисеев
_bК. М.
_gКонстантин Михайлович
701 1 _aПанфилов
_bЮ. В.
_gЮрий Васильевич
942 _cBOOK
980 _aNB