000			03244nam0a2200421 4500
001			RU\NLR\BIBL_A\022183935
005			20240607165109.0
010			_a978-5-7038-6098-4
010			_a978-5-7038-6155-4 _bт. 2 _9100
021			_aRU _bКН-П-24-010371 _9КН-П-24-1071
035			_a(NLR Aleph) 022183935
090			_a12991338 _c12991338
100			_a20240401d2023 u y0rusy50 ca
101	0		_arus
102			_aRU
105			_aa j 000yy
181		0	_ai _baxxe
182		0	_an
200	1		_aВысоковакуумные технологические процессы в приборостроении _eучебное пособие _e[для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)] _fВ. П. Михайлов, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов _gФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)"
203			_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный
210			_aМосква _cИзд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана _d2023
215			_a213 с. _cил., табл. _d24
225	1		_aБиблиотека "Приборостроение" _fредакционная коллегия: В. А. Шахнов - главный редактор, д-р техн. наук, профессор, чл.-корр. РАН [и др.] _vт. 2
225	1		_aПриоритет 2030
300			_aНа обороте тит. с. ссылка на электрон. версию изд.
313			_aЭлектронное приборостроение.
320			_aБиблиогр.: с. 163
606	1		_aЭлектронные приборы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _xВакуумное оборудование _92168584 _3RU\NLR\AUTH\661304632
606	1		_aТонкие пленки _jУчебные издания для высших учебных заведений _xНанесение в вакууме _91835711 _3RU\NLR\AUTH\661122354
686	1		_aЗ85-06-5я73-1
686	1		_aЗ844.13-060.7я73-1
700		1	_7ca _8rus _aМихайлов _bВ. П. _cд-р техн. наук, электроника _gВалерий Павлович _917308 _3RU\NLR\AUTH\7734304
701		1	_aМоисеев _bК. М. _gКонстантин Михайлович
701		1	_aПанфилов _bЮ. В. _gЮрий Васильевич
942			_cBOOK
980			_aNB