000			02927nam2a2200313 4500
001			RU\NLR\BIBL_A\016314479
005			20231023160053.0
021			_aRU _bКН-П-23-004867 _9КН-П-23-0466
035			_a(NLR Aleph) 016314479
090			_a13012934 _c13012934
100			_a20230317d2022 k y0rusy50 ca
101	0		_arus _aeng
102			_aRU
105			_aa z 111zy
200	1		_aАвтоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем _aРазработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств _fпод общ. ред. академика РАН А. Л. Стемпковского
210			_aМосква _cИППМ РАН _aКалуга _cМанускрипт _d2022
215			_aX, 235 с. _cил., цв. ил., табл.
300			_aНа обороте тит. с. и обл.: ISSN 2078-7707
300			_aТекст рус., англ.
320			_aБиблиогр. в конце ст.
320			_aИмен. указ. авт. ст.: с. 234-235
461		0	_1001RU\NLR\BIBL_A\012920429 _12001#$aПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2022$e(МЭС - 2022)$eXI Всероссийская научно-техническая конференция$eсборник трудов$fФедеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук$vВып. 4 _912642728 _cМосква _d2022 _fФедеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук _nИППМ РАН _o(МЭС - 2022) : XI Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов _tПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2022 _vВып. 4
606	1		_aИнтегральные схемы _jСъезды, совещания и т.п _xПроектирование _xАвтоматизация _91192722 _3RU\NLR\AUTH\66481634
686	1		_aЗ844.15-02-5-05я431(2)
702		1	_4340 _7ca _8rus _aСтемпковский _bА. Л. _f1950- _gАлександр Леонидович _9184252 _3RU\NLR\AUTH\770184303
942			_cBOOK
980			_aNB