| 000 | 01653nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1727306 | ||
| 005 | 20260405224617.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2010-102245 _96911 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001718272 | ||
| 090 |
_a1323364 _c1323364 |
||
| 100 | _a20110126d2010 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВысоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР _fА.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфельд [и др.] |
|
| 210 |
_aНижний Новгород _c[б. и.] _d2010 |
||
| 215 |
_a12 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fРос. акад. наук, Ин-т прикл. физики _vN°800 |
|
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 11-12 (24 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aНитриды галлия _xТравление _xПлазмохимические методы _92157464 _3RU\NLR\auth\661603384 |
|
| 686 | _aЗ843.324.408 | ||
| 701 | 1 |
_aВодопьянов _bА. В. _gАлексей Валентинович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aГолубев _bС. В. _cд-р физ.-мат. наук _gСергей Владимирович _3RU\NLR\auth\77102691 _985617 |
|
| 701 | 1 |
_aМансфельд _bД. А. _gДмитрий Анатольевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20110126 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20110126 |
|
| 830 | _aавт. по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||