000 01888nam0a2200385 4500
001 RU\NLR\bibl\536953
005 20250609152727.0
021 _aRU
_b2004-6640
_9340
035 _aRSL-KNO-002407890
035 _a(NLR Aleph) 000529221
090 _a1342288
_c1342288
100 _a20040312d2003 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
106 _ar
200 1 _aФизико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий
_fВ.В. Зенин, Ю.Е. Сегал, Б.А. Спиридонов
_gМ-во образования Рос. Федерации, Воронеж. гос. техн. ун-т
210 _aВоронеж
_cВоронеж. гос. техн. ун-т
_d2003
215 _a168 с.
_cил., табл.
_d21
313 _aмонтаж и методы контроля внутренних микросоединений п/п изделий
320 _aБиблиогр. в конце гл.
606 0 _aПолупроводниковые приборы
_xКонтакты
_xФизико-химические процессы
_92342727
_3RU\NLR\auth\661400216
606 0 _aПолупроводниковые приборы
_xПроизводство
_91372228
_3RU\NLR\auth\66261229
610 0 _aфизико-химические процессы в микросоединениях
686 _aЗ852-060.81,07
_2rubbk
686 _aЗ852-069.7-01
700 1 _aЗенин
_bВ. В.
_gВиктор Васильевич
_4070
701 1 _aСегал
_bЮ. Е.
_gЮрий Ефимович
_4070
701 1 _aСпиридонов
_bБ. А.
_gБорис Анатольевич
_4070
801 0 _aRU
_bRuMoRKP
_c20040312
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRuMoRKP
_c20040312
801 2 _aRU
_bNLR
_c20040706
_gPSBO
942 _cBOOK
980 _aNB