| 000 | 01888nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\536953 | ||
| 005 | 20250609152727.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2004-6640 _9340 |
||
| 035 | _aRSL-KNO-002407890 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000529221 | ||
| 090 |
_a1342288 _c1342288 |
||
| 100 | _a20040312d2003 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 106 | _ar | ||
| 200 | 1 |
_aФизико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий _fВ.В. Зенин, Ю.Е. Сегал, Б.А. Спиридонов _gМ-во образования Рос. Федерации, Воронеж. гос. техн. ун-т |
|
| 210 |
_aВоронеж _cВоронеж. гос. техн. ун-т _d2003 |
||
| 215 |
_a168 с. _cил., табл. _d21 |
||
| 313 | _aмонтаж и методы контроля внутренних микросоединений п/п изделий | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце гл. | ||
| 606 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы _xКонтакты _xФизико-химические процессы _92342727 _3RU\NLR\auth\661400216 |
|
| 606 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство _91372228 _3RU\NLR\auth\66261229 |
|
| 610 | 0 | _aфизико-химические процессы в микросоединениях | |
| 686 |
_aЗ852-060.81,07 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ852-069.7-01 | ||
| 700 | 1 |
_aЗенин _bВ. В. _gВиктор Васильевич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aСегал _bЮ. Е. _gЮрий Ефимович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aСпиридонов _bБ. А. _gБорис Анатольевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRuMoRKP _c20040312 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRuMoRKP _c20040312 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20040706 _gPSBO |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||