| 000 | 02656nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\839882 | ||
| 005 | 20260407121227.0 | ||
| 010 |
_a5-230-16339-9 _9150 |
||
| 021 |
_aRU _b2005-48530 _92365 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000828709 | ||
| 090 |
_a1347019 _c1347019 |
||
| 100 | _a20050913d2001 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aМатериалы конференции _fВосьмая научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника" |
|
| 210 |
_aМосква _cМосковский государственный институт электроники и математики (технический университет) _d2001 |
||
| 215 |
_a459 с. _cил. _d20 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: М-во образования Рос. Федерации, М-во пром-сти, науки и технологий Рос. Федерации, Рос. вакуум. о-во [и др.] | ||
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 313 | _a7я конф.2000г. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце докл. | ||
| 327 | 1 | _aСодерж.: Секция Ф: Физические явления и процессы в вакууме; Секция Р: Расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; Секция М: Модификация и синтез материалов в вакууме; Секция К: Физико-химические процессы в электронных источниках вакуумных приборови установок; Секция Э: Электрофизические явления в вакууме; Секция И: Вакуумные измерения и течеискание; Секция С: Средства получения вакуума; Секция Т: Вакуумные технологии, материалы и оборудование | |
| 606 | 1 |
_aВакуум-техника _jСъезды, совещания и т.п. _92229697 _3RU\NLR\auth\661338341 |
|
| 606 | 1 |
_aВакуумная техника _jСъезды, совещания и т.п. _92229695 _3RU\NLR\auth\661338340 |
|
| 686 | _aЗ77я431 | ||
| 710 | 1 | 2 |
_4070 _a"Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция _d8 _f2001 _eМосква _3RU\NLR\AUTH\8810069800 _9641206 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20050913 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20050913 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||