000			02488nam0a2200361 4500
001			RU\NLR\bibl\839885
005			20260407121227.0
010			_a5-94506-007-0 _9150
021			_aRU _b2005-48531 _92365
035			_a(NLR Aleph) 000828712
090			_a1347037 _c1347037
100			_a20050913d2002 |||y0rusy50 ca
101	0		_arus _deng
102			_aRU
105			_aa |||||||||
200	1		_aМатериалы конференции _fДевятая научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника"
210			_aМосква _cМосковский государственный институт электроники и математики (технический университет) _d2002
215			_a456, [1] с. _cил. _d20
300			_aВ надзаг.: М-во образования Рос. Федерации, М-во пром-сти, науки и технологий Рос. Федерации, Рос. вакуум. о-во [и др.]
300			_aНа тит. л.: 40 лет МИЭМ
300			_aРез. на англ. яз.
313			_a8я конф.2001г.
320			_aБиблиогр. в конце докл.
327	1		_aСодерж.: Секция A: Физические явления и процессы в вакууме; Секция B: Рачет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; Секция C: Средства получения, измерения вакуума и течеискание; Секция D: Вакуумные технологии и нанотехнологии; Секция E: Вакуумная механика и трибология; Секция F: Электрофизические процессы в вакууме
606	1		_aВакуум-техника _jСъезды, совещания и т.п. _92229697 _3RU\NLR\auth\661338341
606	1		_aВакуумная техника _jСъезды, совещания и т.п. _92229695 _3RU\NLR\auth\661338340
686			_aЗ77я431
710	1	2	_4070 _a"Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция _d9 _f2002 _eМосква _3RU\NLR\AUTH\8810069801 _9641208
801		0	_aRU _bNLR _c20050913 _grcr
801		1	_aRU _bNLR _c20050913
942			_cBOOK
980			_aNB