| 000 | 02110nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022645364 | ||
| 005 | 20251225142515.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7629-3458-9 _9500 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-25-053430 _9КН-П-25-5152 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-25-053430 _9КН-П-25-5776 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022645364 | ||
| 090 |
_a13509953 _c13509953 |
||
| 100 | _a20251016d2024 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa|||z|||000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aТепловые процессы при магнетронном распылении _fВ. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский _gпод редакцией профессора В. И. Шаповалова _gМинобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина) |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aСанкт-Петербург _cИзд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ" _d2024 |
||
| 215 |
_a139 с. _cил., табл. _d21 |
||
| 313 | _aМоделирование тепловых процессов с помощью пакета программ COMSOL MULTIPHYSICS. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 127-139 (167 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _xМагнетронное распыление _xКомпьютерное моделирование _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\6601764602 |
|
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _xТепловые свойства _2nlr_sh1 _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\661269327 |
|
| 606 | 1 |
_aCOMSOL MULTIPHYSICS, пакет прикладных программ _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\661579770 |
|
| 686 | 1 | _aЗ843.13-060.7 | |
| 700 | 1 |
_aШаповалов _bВ. И. _gВиктор Иванович |
|
| 701 | 1 |
_aШарковский _bД. С. _gДаниил Сергеевич |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||