| 000 | 02169nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022475345 | ||
| 005 | 20260503055115.0 | ||
| 010 |
_a978-5-507-48885-8 _930 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022475345 | ||
| 090 |
_a13513449 _c13513449 |
||
| 100 | _a20250228d2024 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aac j 000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aВведение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста _eучебное пособие _eдля студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий _fВ. Ю. Васильев |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aСанкт-Петербург [и др.] _cЛань _d2024 |
||
| 215 |
_a340 с. _cил., табл., портр. _d24 |
||
| 225 | 1 | _aВысшее образование | |
| 300 | _aНа задней соронке пер. авт.: В. Ю. Васильев, д-р хим. наук, проф. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 321–338 (241 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _jУчебные издания для высших учебных заведений _xОсаждение из газовой фазы _91850870 _3RU\NLR\AUTH\661129986 |
|
| 606 | 1 |
_aЭлектроника пленочная _jУчебные издания для высших учебных заведений _9934840 _3RU\NLR\AUTH\66344808 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.13-060.7я73-1 | |
| 686 | 1 | _aЗ843.08я73-1 | |
| 700 | 1 |
_aВасильев _bВ. Ю. _cд-р хим. наук, электроника _f1953- _gВладислав Юрьевич _9129825 _3RU\NLR\AUTH\770129856 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||