| 000 | 02112nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\538749 | ||
| 005 | 20260408193324.0 | ||
| 010 |
_a5-7629-0454-7 _9150 |
||
| 021 |
_aRU _b2004-6554 _9336 |
||
| 035 | _aRSL-KNO-002407324 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000531006 | ||
| 090 |
_a1353060 _c1353060 |
||
| 100 | _a20040312d2002 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 106 | _ar | ||
| 200 | 1 |
_aФотолитография _eУчеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств" _fГ.Ф. Баканов, Г.В. Петрова _gМ-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" |
|
| 210 |
_aСПб. _cИзд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ" _d2002 |
||
| 215 |
_a32,[3] с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 | _aУчебное пособие | |
| 313 | _aпроизводство ИС | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце кн. | ||
| 606 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xФотолитографический метод _jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы _3RU\NLR\auth\661327006 _92208899 |
||
| 606 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xФотолитографический метод _jУчебные издания для высших учебных заведений _3RU\NLR\auth\661327006 _92208899 |
||
| 686 |
_aЗ844.15-060.6я73-1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.15-06я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aБаканов _bГ. Ф. _gГеннадий Федорович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aПетрова _bГ. В. _cканд. техн. наук _f1949- _gГалина Васильевна _3RU\NLR\auth\7733801 _916808 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRuMoRKP _c20040312 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRuMoRKP _c20040312 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20040709 _gPSBO |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||