000 02109nam0a2200361 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\022238084
005 20260420010433.0
010 _a978-5-9913-0279-1
_9100
021 _aRU
_bКН-П-24-022806
_9КН-П-24-2366
035 _a(NLR Aleph) 022238084
090 _a13659180
_c13659180
100 _a20240530d2023 k y0rusy50 ca
101 0 _arus
_aeng
102 _aRU
105 _aa z 100yy
181 0 _ai3
_baxxe
182 0 _an
200 1 _aIV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия - 2023" (АСО - Россия - 2023), Махачкала, 15-18 сентября 2023 г.
_d4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023
_eсборник тезисов докладов
_fМинистерство науки и высшего образования РФ, Дагестанский государственный университет [и др.]
_zeng
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aМахачкала
_cИзд-во ДГУ
_d2023
215 _a122 с.
_cил., табл.
_d29
300 _aТекст рус., англ.
320 _aБиблиогр. в конце докл.
510 1 _6z01791
_a4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023
_zeng
606 1 _aТонкие пленки
_jСъезды, совещания и т.п
_xОсаждение
_92267635
_3RU\NLR\AUTH\661359283
686 1 _aЗ844.13-060.7я431(0)
710 1 2 _a"Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция
_d4
_eМахачкала
_9883542
_3RU\NLR\AUTH\880611691
791 1 2 _7ba
_8eng
_a"Atomic layer deposition: Russia-2023", international conference
_d4
_eMakhachkala
_9883546
_3RU\NLR\AUTH\880611695
942 _cBOOK
980 _aNB