| 000 | 02109nam0a2200361 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022238084 | ||
| 005 | 20260420010433.0 | ||
| 010 |
_a978-5-9913-0279-1 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-24-022806 _9КН-П-24-2366 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022238084 | ||
| 090 |
_a13659180 _c13659180 |
||
| 100 | _a20240530d2023 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _aeng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 100yy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aIV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия - 2023" (АСО - Россия - 2023), Махачкала, 15-18 сентября 2023 г. _d4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023 _eсборник тезисов докладов _fМинистерство науки и высшего образования РФ, Дагестанский государственный университет [и др.] _zeng |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aМахачкала _cИзд-во ДГУ _d2023 |
||
| 215 |
_a122 с. _cил., табл. _d29 |
||
| 300 | _aТекст рус., англ. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце докл. | ||
| 510 | 1 |
_6z01791 _a4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023 _zeng |
|
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _jСъезды, совещания и т.п _xОсаждение _92267635 _3RU\NLR\AUTH\661359283 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.13-060.7я431(0) | |
| 710 | 1 | 2 |
_a"Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция _d4 _eМахачкала _9883542 _3RU\NLR\AUTH\880611691 |
| 791 | 1 | 2 |
_7ba _8eng _a"Atomic layer deposition: Russia-2023", international conference _d4 _eMakhachkala _9883546 _3RU\NLR\AUTH\880611695 |
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||