| 000 | 02471nam0a2200397 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022334729 | ||
| 005 | 20260420014959.0 | ||
| 010 |
_a978-5-502-01790-9 _9500 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-24-047347 _9КН-П-24-4711 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022334729 | ||
| 090 |
_a13665700 _c13665700 |
||
| 100 | _a20240926d2024 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aПлазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 _eмонография _fМочалов Л. А., Кудряшов М. А., Князев А. В. [и др.] _gМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева" |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aНижний Новгород _cНижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева _d2024 |
||
| 215 |
_a211 с. _cил. _d20 |
||
| 300 | _aАвт. указаны на обороте тит. с. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 184-211 (311 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aПолупроводники оксидные _xТонкие пленки _92085339 _3RU\NLR\AUTH\661261454 |
|
| 606 | 1 |
_aОкисные пленки _91565136 _3RU\NLR\AUTH\66685142 |
|
| 686 | 1 | _aЗ843.371 | |
| 686 | 1 | _aК663.31 | |
| 701 | 1 |
_aМочалов _bЛ. А. _gЛеонид Александрович |
|
| 701 | 1 |
_aКудряшов _bМ. А. _gМихаил Александрович |
|
| 701 | 1 |
_aКнязев _bА. В. _gАлександр Владимирович |
|
| 712 | 0 | 2 |
_4475 _aНижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева _9300053 _3RU\NLR\AUTH\8813523 |
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||