000 02264nam0a2200361 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\022337610
005 20260420015138.0
010 _a978-5-502-01768-8
_9500
021 _aRU
_bКН-П-24-047951
_9КН-П-24-4769
035 _a(NLR Aleph) 022337610
090 _a13666032
_c13666032
100 _a20241001d2024 k y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z 000yy
181 0 _ai3
_baxxe
182 0 _an
200 1 _aПлазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и сульфида галлия
_eмонография
_fЛ. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, Е. А. Слаповская
_gМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева"
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aНижний Новгород
_cНижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
_d2024
215 _a159 с.
_cил., табл.
_d21
320 _aБиблиогр.: с. 145-159 (196 назв.)
606 1 _aХалькогениды мышьяка
_xТонкие пленки
_xПлазмохимический синтез
_92484252
_3RU\NLR\AUTH\6601690930
606 1 _aСульфиды галлия
_xТонкие пленки
_xПлазмохимический синтез
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\AUTH\6601747380
686 1 _aЗ843.325.210.8
700 1 _aМочалов
_bЛ. А.
_gЛеонид Александрович
701 1 _aКудряшов
_bМ. А.
_gМихаил Александрович
701 1 _aСлаповская
_bЕ. А.
_gЕкатерина Андреевна
942 _cBOOK
980 _aNBR
980 _aNB