| 000 | 02498nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022339399 | ||
| 005 | 20260420015211.0 | ||
| 010 |
_a978-5-502-01726-8 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-24-047731 _9КН-П-24-4748 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022339399 | ||
| 090 |
_a13666166 _c13666166 |
||
| 100 | _a20241002d2023 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa j 000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aТехнология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники _eучебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения _fВ. И. Наумов, Г. М. Мочалов _gМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева" |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aНижний Новгород _cНижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева _d2023 |
||
| 215 |
_a266 с. _cил., табл. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 266 (9 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _xТехнологические процессы _92182712 _3RU\NLR\AUTH\6601548943 |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _xОборудование _91250441 _3RU\NLR\AUTH\66194849 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.15-06я73-1 | |
| 700 | 1 |
_7ca _8rus _aНаумов _bВ. И. _cд-р хим. наук _gВладимир Иванович _971261 _3RU\NLR\AUTH\7788333 |
|
| 701 | 1 |
_aМочалов _bГ. М. _gГеоргий Михайлович |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||