| 000 | 01622nam0a2200325 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022359783 | ||
| 005 | 20260420020207.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7422-8528-1 _9500 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-24-053517 _9КН-П-24-5327 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022359783 | ||
| 090 |
_a13667992 _c13667992 |
||
| 100 | _a20241022d2024 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aНанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене _fР. П. Сейсян |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aСанкт-Петербург _cПолитех-Пресс _cCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого _d2024 |
||
| 215 |
_a133 с. _cил., цв. ил., табл. _d22 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 128-133 (69 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xФотолитографический метод _92208899 _3RU\NLR\AUTH\661327006 |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xПрименение нанолитографии _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\6601748582 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.15-06 | |
| 700 | 1 |
_4070 _7ca _8rus _aСейсян _bР. П. _f1936-2024 _gРубен Павлович _92642801 _3RU\NLR\AUTH\770273204 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||