| 000 | 02846nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022498437 | ||
| 005 | 20260420041558.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7629-3392-6 _950 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-25-002775 _9КН-П-25-0271 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022498437 | ||
| 090 |
_a13671173 _c13671173 |
||
| 100 | _a20250321d2024 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa j 000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aМетоды элементного анализа материалов и структур микроэлектроники _eучебное пособие _eдля аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов" _fН. В. Андреева, М. А. Усикова _gМинобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина) |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aСанкт-Петербург _cИзд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ" _d2024 |
||
| 215 |
_a162, [1] с. _cил., табл., цв. ил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце разд. | ||
| 606 | 1 |
_aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная _jУчебные издания для высших учебных заведений _xМатериалы _xСпектроскопия _92671505 _3RU\NLR\AUTH\6601757854 |
|
| 606 | 1 |
_aНаноструктуры _jУчебные издания для высших учебных заведений _xСпектроскопические исследования _92162760 _3RU\NLR\AUTH\661301474 |
|
| 606 | 1 |
_aМикроэлектроника _jУчебные издания для высших учебных заведений _xФизические основы _92143948 _3RU\NLR\AUTH\661291883 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.1я73-1 | |
| 700 | 1 |
_7ca _8rus _aАндреева _bН. В. _cд-р физ.-мат. наук, нанотехнологии _f1982- _gНаталья Владимировна _9109672 _3RU\NLR\AUTH\77126748 |
|
| 701 | 1 |
_aУсикова _bМ. А. _gМария Александровна |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||