000 01869nam0a2200325 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\022603618
005 20260420052232.0
010 _a978-5-6054026-1-9
_920
021 _aRU
_bКН-П-25-037291
_9КН-П-25-3658
035 _a(NLR Aleph) 022603618
090 _a13682053
_c13682053
100 _a20250819d2025 k y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z 100yy
181 0 _ai
_baxxe
182 0 _an
200 1 _aЧерноголовская конференция по электронной микроскопии КЭМ-25 с международкым участием, г. Черноголовка, 16–19 июня 2025 г.
_eТезисы докладов
_fФедеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aМосква
_cГефест
_d2025
215 _a221 с.
_cил., табл.
_d30
320 _aБиблиогр. в конце ст.
606 1 _aЭлектронная микроскопия
_jТезисы докладов
_9904131
_3RU\NLR\AUTH\669217
686 1 _aВ338.48я431(0)
710 1 2 _aЧерноголовская конференция по электронной микроскопии с международным участием
_f2025
_92674412
_3RU\NLR\AUTH\880630218
942 _cBOOK
980 _aNB