| 000 | 02684nam0a2200397 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\022627476 | ||
| 005 | 20260510042657.0 | ||
| 010 |
_a978-5-907961-52-4 _9500 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-25-045770 _9КН-П-25-4445 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 022627476 | ||
| 090 |
_a13701604 _c13701604 |
||
| 100 | _a20250922d2025 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 000yy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aФизико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация _eмонография _fО. В. Александров, Н. Н. Афонин, А. И. Дусь _gМинистерство просвещения Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный педагогический университет" |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aВоронеж _cВоронежский государственный педагогический университет _d2025 |
||
| 215 |
_a210 с. _cил. _d21 |
||
| 300 | _aНа 4-й с. обл. авт.: Александров О. В., д-р физ.-мат. наук, проф., Афонин Н. Н., д-р хим. наук, Дусь А. И., канд. физ.-мат. наук, доц. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце гл. | ||
| 606 | 1 |
_aКремний _xОкисление термическое _91396524 _3RU\NLR\AUTH\66587424 |
|
| 606 | 1 |
_aКремний _xПримеси _xДиффузия _xМатематическое моделирование _91802744 _3RU\NLR\AUTH\661105984 |
|
| 606 | 1 |
_aКремний _xПримеси _xСегрегация _xМатематическое моделирование _92697828 _3RU\NLR\AUTH\6601766613 |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы полупроводниковые _xМоделирование _92152789 _3RU\NLR\AUTH\661601031 |
|
| 686 | 1 | _aЗ843.322.408 | |
| 686 | 1 | _aЗ844.15-02 | |
| 700 | 1 |
_7ca _8rus _aАлександров _bО. В. _cд-р физ.-мат. наук, микроэлектроника _gОлег Викторович _9252244 _3RU\NLR\AUTH\770252300 |
|
| 701 | 1 |
_aАфонин _bН. Н. _gНиколай Николаевич |
|
| 701 | 1 |
_aДусь _bА. И. _gАндрей Игоревич |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||