000 01761nam0a2200289 4500
001 RU\NLR\bibl\1441778
005 20260405102731.0
010 _a978-5-94774-907-6
_91000
021 _aRU
_b2009-78298
_94903
035 _a(NLR Aleph) 001433630
090 _a1418379
_c1418379
100 _a20091123d2009 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aТехническая механика микросистем
_eучебное пособие
_eдля студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
_f[Тимофеев В.Н. и др.]
_gпод ред. д.т.н., проф. В.Н. Тимофеева
210 _aМосква
_cБином. Лаборатория знаний
_d2009
215 _a176 с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр.: с. 173-174 (19 назв.)
606 1 _aМикроэлектромеханические приборы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xФизические основы
_92449378
_3RU\NLR\auth\661456437
686 _aЗ844.1-01я73-1
702 1 _4220
_8rus
_7ca
_aТимофеев
_bВ. Н.
_cд-р техн. наук
_gВладимир Николаевич
_3RU\NLR\auth\7738440
_921424
801 0 _aRU
_bNLR
_c20091123
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20091123
942 _cBOOK
980 _aNB