| 000 | 01256nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\852719 | ||
| 005 | 20250614152512.0 | ||
| 010 |
_a5-901608-08-9 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _b2005-25229 _91275 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000841459 | ||
| 090 |
_a1423116 _c1423116 |
||
| 100 | _a20051012d2004 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЭлектроосаждение и ионизация металлов на полупроводниках _fВ.В. Никифоров |
|
| 205 | _aИзд. 1-е | ||
| 210 |
_aСаратов _cИзд-во АН ВЭ _d2004 |
||
| 215 |
_a73 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 59-71 (180 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aМеталлы _xЭлектроосаждение _91570161 _3RU\NLR\auth\66687921 |
|
| 606 | 1 |
_aМеталлы _xИонизация _92401934 _3RU\NLR\auth\661431700 |
|
| 606 | 1 |
_aПолупроводники _xПроизводство _91423342 _3RU\NLR\auth\66289574 |
|
| 686 | _aЗ843.308 | ||
| 700 | 1 |
_aНикифоров _bВ. В. _gВиктор Васильевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20051012 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20051012 |
|
| 830 | _aАвт. по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||