| 000 | 01664nam0a2200313 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1446922 | ||
| 005 | 20260407212832.0 | ||
| 010 |
_a978-5-94506-224-5 _9150 |
||
| 021 |
_aRU _b2009-82571 _95186 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001438752 | ||
| 090 |
_a1449280 _c1449280 |
||
| 100 | _a20091203d2009 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aXVI Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника" _eматериалы конференции, октябрь 2009 г. |
|
| 210 |
_aМосква _cМИЭМ _d2009 |
||
| 215 |
_a440 c. _cил. _d29 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: М-во образования и науки Рос. Федерации, Рос. науч.-техн. вакуум. о-во, Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т), ГУ "НИИ микроэлектроники и информ.-измерит. техники МИЭМ" [и др.] | ||
| 300 | _aРез. докл. на англ. яз. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце докл. | ||
| 606 | 1 |
_aВакуумная техника _jСъезды, совещания и т.п. _92229695 _3RU\NLR\auth\661338340 |
|
| 686 | _aЗ77я431(0) | ||
| 710 | 1 | 2 |
_a"Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция _d16 _f2009 _eМосква _3RU\NLR\AUTH\8810142161 _9779055 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20091203 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20091203 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||