000 01664nam0a2200313 4500
001 RU\NLR\bibl\1446922
005 20260407212832.0
010 _a978-5-94506-224-5
_9150
021 _aRU
_b2009-82571
_95186
035 _a(NLR Aleph) 001438752
090 _a1449280
_c1449280
100 _a20091203d2009 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
_deng
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aXVI Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника"
_eматериалы конференции, октябрь 2009 г.
210 _aМосква
_cМИЭМ
_d2009
215 _a440 c.
_cил.
_d29
300 _aВ надзаг.: М-во образования и науки Рос. Федерации, Рос. науч.-техн. вакуум. о-во, Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т), ГУ "НИИ микроэлектроники и информ.-измерит. техники МИЭМ" [и др.]
300 _aРез. докл. на англ. яз.
320 _aБиблиогр. в конце докл.
606 1 _aВакуумная техника
_jСъезды, совещания и т.п.
_92229695
_3RU\NLR\auth\661338340
686 _aЗ77я431(0)
710 1 2 _a"Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция
_d16
_f2009
_eМосква
_3RU\NLR\AUTH\8810142161
_9779055
801 0 _aRU
_bNLR
_c20091203
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20091203
942 _cBOOK
980 _aNB