| 000 | 01899nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1447188 | ||
| 005 | 20250615230442.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2009-81903 _95140 |
||
| 090 |
_a1450888 _c1450888 |
||
| 100 | _a20091012d2009 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФизика и технология тонких пленок _eучебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" _fИ. А. Аверин, А. Н. Головяшкин _gпод общ. ред. Р. М. Печерской _gФедеральное агентство по образованию, Гос. образовательное учреждение высш. профессионального образования "Пензенский гос. ун-т" |
|
| 210 |
_aПенза _cИзд-во Пензенского гос. ун-та _d2009 |
||
| 215 |
_a170, [2] с. _cил., табл. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 155-156 | ||
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _xНанесение напылением в вакууме _jУчебные издания для высших учебных заведений _2nlr_sh2 _3RU\NLR\auth\66493144 |
|
| 686 |
_aЗ844.13-060.7я73-1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.13-060.7я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aАверин _bИ. А. _gИгорь Александрович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aГоловяшкин _bА. Н. _gАлексей Николаевич _4070 |
|
| 830 | _aпо кн | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 983 | 0 | _aРГ ЛН | |