000 01899nam0a2200337 4500
001 RU\NLR\bibl\1447188
005 20250615230442.0
021 _aRU
_b2009-81903
_95140
090 _a1450888
_c1450888
100 _a20091012d2009 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизика и технология тонких пленок
_eучебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
_fИ. А. Аверин, А. Н. Головяшкин
_gпод общ. ред. Р. М. Печерской
_gФедеральное агентство по образованию, Гос. образовательное учреждение высш. профессионального образования "Пензенский гос. ун-т"
210 _aПенза
_cИзд-во Пензенского гос. ун-та
_d2009
215 _a170, [2] с.
_cил., табл.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 155-156
606 1 _aТонкие пленки
_xНанесение напылением в вакууме
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\auth\66493144
686 _aЗ844.13-060.7я73-1
_2rubbk
686 _aЗ844.13-060.7я73-1
700 1 _aАверин
_bИ. А.
_gИгорь Александрович
_4070
701 1 _aГоловяшкин
_bА. Н.
_gАлексей Николаевич
_4070
830 _aпо кн
942 _cBOOK
983 0 _aРГ ЛН