000 02287nam0a2200409 4500
001 RU\NLR\bibl\263172
005 20250620130648.0
010 _a5-7455-1211-3
_9500
021 _aRU
_b2002-1344
_969
035 _a(NLR Aleph) 000258801
090 _a1511417
_c1511417
100 _a20020419d2001 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизические методы исследования тонких пленок и поверхностных слоев
_eУчеб. пособие для студентов, обучающихся по специальностям 010400 "Физика", 011000 "Химия" и 071000 "Материаловедение и технология новых материалов"
_fВ.И. Кукуев, И.Я. Миттова, Э.П. Домашевская
_gПод ред. Я.А. Угая
210 _aВоронеж
_cИзд-во Воронеж. гос. ун-та
_d2001
215 _a142, [1] с.
_cил.
_d20
313 _aмикроэлектроника
320 _aБиблиогр.: с. 142-143
606 0 _aТонкие пленки
_jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы
_xИсследование
_xФизические методы
_92247060
_3RU\NLR\auth\661348028
606 0 _aТонкие пленки
_jУчебные издания для высшей школы
_xИсследование
_xФизические методы
_92247060
_3RU\NLR\auth\661348028
610 0 _aПленки тонкие - Поверхностные свойства - Исследование
675 _a539.216.2(075.8)
_v3
_zrus
686 _a29.19
_2rugasnti
686 _a22.37я73
_2rubbk
686 _aЗ844.13-01с3я73-1
700 1 _4070
_aКукуев
_bВ. И.
_cд-р физ.-мат. наук, канд. хим. наук
_f1956-
_gВячеслав Иванович
_9152302
_3RU\NLR\AUTH\770152340
701 1 _aМиттова
_bИ. Я.
_gИрина Яковлевна
_4070
701 1 _aДомашевская
_bЭ. П.
_gЭвелина Павловна
_4070
801 0 _aRU
_bRKP
_c20020419
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRKP
_c20020419
801 2 _aRU
_bNLR
_c20020614
_grcr
942 _cBOOK
980 _aNB