| 000 | 01546nam0a2200325 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1482141 | ||
| 005 | 20250616005836.0 | ||
| 010 |
_a978-5-85101-091-0 _926 |
||
| 021 |
_aRU _b2009-109296 _96961 |
||
| 035 | _a(nilc)RSL-KNO-004567895 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001473779 | ||
| 090 |
_a1660239 _c1660239 |
||
| 100 | _a20100114d2009 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay zzzz||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОсновы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой _eнаучное издание _fСоколов Л. В. |
|
| 210 |
_aЖуковский _cПетит _d2009 |
||
| 215 |
_a167 с. _cил., табл. _d29 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 141-163 (226 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aПреобразователи давления микроэлектромеханические _xПроектирование _92590982 _3RU\NLR\auth\661531181 |
|
| 686 |
_aО567-04,07 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ323-503-02 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _aСоколов _bЛ. В. _cд-р техн. наук, электроника _f1947- _gЛеонид Владимирович _9224266 _3RU\NLR\AUTH\770224322 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRuMoRGB _c20100114 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRuMoRGB _c20100114 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20100309 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||