000 02454nam0a2200469 4500
001 RU\NLR\bibl\1795549
005 20250616144409.0
010 _a978-5-7782-1559-7
_93000
_bв пер.
021 _aRU
_b2011-51483
_93677
090 _a1728902
_c1728902
100 _a20110711d2011 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
_deng
102 _aRU
105 _aa zzzz|||||
200 1 _aПлазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
_ePlasma high-frequency technologies for electronic instrument making
_fВ. М. Геллер, В. А. Хрусталев
_g[Ministry of education and science of the Russian Federation, Novosibirsc state thechnical university]
_zeng
205 _a[2-е изд., перераб. и доп.]
210 _aНовосибирск
_cНГТУ
_d2011
215 _a297 с.
_cил., табл.
_d22
225 1 _aМонографии НГТУ
_fредкол.: д.т.н., проф., (пред.) Н.В. Пустовой [и др.]
300 _aАвт. также на англ. яз.: V.M. Geller, V.A. Khrustalev
320 _aБиблиогр.: с. 284-293 (146 назв.)
510 0 _6z33790
_aPlasma high-frequency technologies for electronic instrument making
_zeng
606 1 _aЭлектронные приборы
_xПроизводство
_xПлазменные методы
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\auth\661559790
610 0 _aнизкотемпературная плазма
610 0 _aгенераторы низкотемпературной плазмы
610 0 _aплазменные процессы в приборостроении
686 _aЗ851.1-060.14-5,0
_2rubbk
686 _aЗ85-06
700 1 _aГеллер
_bВ. М.
_f1929-2009
_gВладимир Михайлович
_3RU\NLR\auth\77102235
_4070
701 1 _aХрусталев
_bВ. А.
_gВладимир Александрович
_3RU\NLR\auth\7715833
_4070
790 1 _6z33
_aGeller
_bV. M.
_f1929-2009
_gVladimir Michajlovič
_3RU\NLR\auth\77102237
_4070
_7ba
790 1 _6z33
_aChrustalev
_bV. A.
_gVladimir Aleksandrovič
_3RU\NLR\auth\77102242
_4070
_7ba
830 _aавт. по кн.
942 _cBOOK
983 0 _aРГ НЕ