| 000 | 01596nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1796450 | ||
| 005 | 20250616144813.0 | ||
| 010 |
_a978-5-98222-323-4 _91000 |
||
| 021 |
_aRU _b2011-52231 _93723 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001787134 | ||
| 090 |
_a1734171 _c1734171 |
||
| 100 | _a20110809d2008 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЭкспериментальное моделирование контактов силицид металла - полупроводник _eмонография _fИ.Н. Корнфельд _gВоронеж. ин-т высоких технологий, Рос. новый ун-т (Воронеж. фил.) |
|
| 210 |
_aВоронеж _cНаучная книга _d2008 |
||
| 215 |
_a87 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 84-87 (54 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aПолупроводниковые приборы _xКонтакты _xФизико-химические процессы _92342727 _3RU\NLR\auth\661400216 |
|
| 606 | 1 |
_aСилициды металлов-полупроводник, система _92119930 _3RU\NLR\auth\661583879 |
|
| 606 | 1 |
_aСверхбольшие интегральные схемы _xПодложки кремниевые _92482227 _3RU\NLR\auth\661473421 |
|
| 686 | _aЗ844.15-03 | ||
| 686 | _aЗ852-049.7-01 | ||
| 700 | 1 |
_aКорнфельд _bИ. Н. _gИосиф Николаевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20110809 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20110809 |
|
| 830 | _aАвт. по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||