000 01775nam0a2200301 4500
001 RU\NLR\bibl\1799129
005 20260405102731.0
010 _a978-5-9963-0636-7
_9500
021 _aRU
_b2011-54400
_93875
035 _a(NLR Aleph) 001789803
090 _a1750131
_c1750131
100 _a20110816d2011 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aТехническая механика микросистем
_eучебное пособие
_eдля студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
_f[Тимофеев В.Н. и др.]
_gпод ред. д.т.н., проф. В.Н. Тимофеева
210 _aМосква
_cБином. Лаборатория знаний
_d2011
215 _a176 с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр.: с. 173-174 (19 назв.)
606 1 _aМикроэлектромеханические приборы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xФизические основы
_92449378
_3RU\NLR\auth\661456437
686 _aЗ844.1-01я73-1
702 1 _4220
_8rus
_7ca
_aТимофеев
_bВ. Н.
_cд-р техн. наук
_gВладимир Николаевич
_3RU\NLR\auth\7738440
_921424
801 0 _aRU
_bNLR
_c20110816
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20110816
942 _cBOOK
980 _aNB
980 _aNBR