000 02924nam0a2200433 4500
001 RU\NLR\bibl\304244
005 20260405220051.0
010 _a5-88866-081-7
_bВ пер.
_9200
021 _aRU
_b2002-22339
_91118
035 _a(NLR Aleph) 000299419
090 _a1754170
_c1754170
100 _a20020904d2001 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизические основы технологии полупроводниковых приборов в интегральных микросхемах
_eУчеб. пособие для студентов и инж.-техн. работников, специализирующихся в обл. микроэлектроники и физики полупроводников
_fА. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов
_gМ-во образования Рос. Федерации, Ульян. гос. ун-т
210 _aУльяновск
_cУлГУ
_d2001
215 _a369 с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр.: с. 364-366
606 1 _aПолупроводниковые приборы
_jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы
_xПроизводство
_xФизические основы
_92260199
_3RU\NLR\auth\661355244
606 1 _aПолупроводниковые приборы
_jУчебные издания для высшей школы
_xПроизводство
_xФизические основы
_92260199
_3RU\NLR\auth\661355244
606 1 _aИнтегральные схемы
_jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы
_xПроизводство
_xФизические основы
_92141918
_3RU\NLR\auth\661290898
606 1 _aИнтегральные схемы
_jУчебные издания для высшей школы
_xПроизводство
_xФизические основы
_92141918
_3RU\NLR\auth\661290898
610 0 _aПолупроводниковые приборы - Производство - Физические основы
610 0 _aМикроэлектронные схемы интегральные - Производство - Физические основы
675 _a537.311.322(075.8)
_v3
_zrus
686 _a29.19
_2rugasnti
686 _a22.33я73
_2rubbk
686 _aЗ852-06я73-1
686 _aЗ844.15-06я73-1
700 1 _4070
_7ca
_8rus
_aОрлов
_bА. М.
_cд-р техн. наук
_gАнатолий Михайлович
_981424
_3RU\NLR\auth\7798498
701 1 _aКостишко
_bБ. М.
_4070
701 1 _4070
_7ca
_8rus
_aСкворцов
_bА. А.
_cд-р физ.-мат. наук
_gАркадий Алексеевич
_975785
_3RU\NLR\auth\7792859
801 0 _aRU
_bRKP
_c20020904
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRKP
_c20020904
801 2 _aRU
_bNLR
_c20110414
_grcr
942 _cBOOK
980 _aNB