000 03406nam0a2200457 4500
001 RU\NLR\bibl\1511182
005 20260405202607.0
010 _a978-5-9616-0328-6
_9100
021 _aRU
_b2010-26677
_91796
035 _a(nilc)RSL-KNO-004629145
035 _a(NLR Aleph) 001502579
090 _a1798683
_c1798683
100 _a20100412d2009 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aКорпускулярно-фотонные процессы и технологии
_eучебное пособие
_eдля студентов высшего учебных заведений, обучающихся по специальности "Технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники"
_fВ.И. Светцов, С.А. Смирнов
_gФедер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Иван. гос. хим.-технол. ун-т
210 _aИваново
_cИвановский гос. химико-технологический ун-т
_d2009
215 _a275, [1] с.
_cил.
_d21
313 _aПо пред.изд.
320 _aБиблиогр.: с. 271-272 (28 назв.)
606 1 _aМатериалы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xЛазерная обработка
_92081628
_3RU\NLR\auth\661257616
606 1 _aМатериалы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xЭлектронно-лучевая обработка
_92182899
_3RU\NLR\auth\661312571
606 1 _aМатериалы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xИонная обработка
_92405992
_3RU\NLR\auth\661433875
610 0 _aТехника и технические науки (в целом) -- Общая технология. Основы промышленного производства -- Лазерная обработка -- Учебник для высшей школы
610 0 _aТехника и технические науки (в целом) -- Общая технология. Основы промышленного производства -- Обработка ионизирующими излучениями -- Учебник для высшей школы
610 0 _aТехника и технические науки (в целом) -- Общая технология. Основы промышленного производства -- Электронная, электронно-лучевая технология -- Учебник для высшей школы
686 _aЖ618я73-1
_2rubbk
686 _aЖ614я73-1
_2rubbk
686 _aЖ621я73-1
_2rubbk
686 _aЖ614я73-1
686 _aЖ656я73-1
700 1 _aСветцов
_bВ. И.
_gВладимир Иванович
_4070
701 1 _4070
_8rus
_7ca
_aСмирнов
_bС. А.
_cканд. хим. наук, физическая химия
_gСергей Александрович
_3RU\NLR\auth\7790057
_972984
801 0 _aRU
_bРГБ
_c20100412
_grcr
801 1 _aRU
_bРГБ
_c20100412
801 2 _aRU
_bNLR
_c20100517
_grcr
830 _aж
942 _cBOOK
980 _aNB