| 000 | 02309nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1816655 | ||
| 005 | 20250616155530.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7038-3501-2 _bкн.10 |
||
| 010 |
_a978-5-7038-3509-8 _9500 |
||
| 021 |
_aRU _b2011-68326 _94823 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001807231 | ||
| 090 |
_a1820382 _c1820382 |
||
| 100 | _a20111006d2011 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЭлионные процессы и нанотехнологии _eучебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" _eучебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" _fЮ.В. Панфилов _gпод ред. засл. деятеля науки РФ, чл.-корр. РАН, проф. В.А. Шахнова |
|
| 210 |
_aМосква _cИзд-во МГТУ _d2011 |
||
| 215 |
_a127 с. _cил. _d22 |
||
| 225 | 1 |
_aБиблиотека "Наноинженерия" _eв 17 кн. _vкн. 10 |
|
| 225 | 1 | _aКомплект учебно-методических комплексов дисциплин по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети "Наноинженерия" | |
| 320 | _aБиблиогр.: с. 125 (8 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _jУчебные издания для высших учебных заведений _xНанесение в вакууме _91835711 _3RU\NLR\auth\661122354 |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _xЭлектронно-ионная технология _92385542 _3RU\NLR\auth\661422989 |
|
| 686 | _aЗ844.13-060.7я73-1 | ||
| 686 | _aЗ844.15-06я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aПанфилов _bЮ. В. _gЮрий Васильевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20111006 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20111006 |
|
| 830 | _aавт. по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aNBR | ||