| 000 | 01308nam2a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM29\5000104094 | ||
| 005 | 20050203110351.2 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002726584 | ||
| 090 |
_a1922682 _c1922682 |
||
| 100 | _a20050203d1981 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||000|y | ||
| 200 | 1 |
_aБесконтактные методы контроля толщины и неплоскосности полупроводниковых слоев _fО.Н. Пономаренко |
|
| 210 | _d1981 | ||
| 225 | 1 |
_a... _vВып.323 _i... _v1981, Вып.4 |
|
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000103559 _12001#$aТематические указатели литературы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.323 |
|
| 462 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000103996 _12001#$aТематические указатели литературы$iСерия: Микроэлектроника$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" ...$v1981, Вып.4 |
|
| 700 | 1 |
_aПономаренко _bО. Н. _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20050203 |
|
| 852 |
_aNLR _bС _jП-1/303 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||