| 000 | 02077nam2a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM_29\5000104382 | ||
| 005 | 20250617145147.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002726652 | ||
| 090 |
_a1923301 _c1923301 |
||
| 100 | _a20050203d1970 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||000|y | ||
| 200 | 1 |
_aИонно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии _fГ.Э. Пинес, Я.П. Рокицкая |
|
| 210 |
_d1970 _aБ. м. |
||
| 225 | 1 |
_a... _vВып.134 _i... _v2[1] |
|
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000103559 _12001#$aТематические указатели литературы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.134 _91907610 _a"Электроника", институт (Москва) _cМ. _d1962-1983 _fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" _tТематические указатели литературы _vВып.134 |
|
| 462 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000104283 _12001#$aТематические указатели литературы ...$iСерия: Технология, организация производства и оборудование$fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"$v2[1] _91923274 _a"Электроника", институт (Москва) _cМ. _d1970-1983 _fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника" _iСерия: Технология, организация производства и оборудование _tТематические указатели литературы. - Тематические указатели литературы ... _v2[1] |
|
| 700 | 1 |
_aПинес _bГ.Э. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aРокицкая _bЯ.П. _4070 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20050203 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 852 |
_aNLR _jС315-410/Т-32 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||