000 02133nam2a22002891 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM_29\5000104399
005 20250617145151.0
035 _a(NLR Aleph) 002726669
090 _a1923453
_c1923453
100 _a20050203d1971 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay ||||000|y
200 1 _aЗащита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками
_fА.П. Казаков, Я.П. Рокицкая
210 _d1971
_aБ. м.
225 1 _a...
_vВып.178
_i...
_v1971, Вып.3[1]
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000103559
_12001#$aТематические указатели литературы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.178
_91907610
_a"Электроника", институт (Москва)
_cМ.
_d1962-1983
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_tТематические указатели литературы
_vВып.178
462 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000104283
_12001#$aТематические указатели литературы ...$iСерия: Технология, организация производства и оборудование$fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"$v1971, Вып.3[1]
_91923274
_a"Электроника", институт (Москва)
_cМ.
_d1970-1983
_fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
_iСерия: Технология, организация производства и оборудование
_tТематические указатели литературы. - Тематические указатели литературы ...
_v1971, Вып.3[1]
700 1 _aКазаков
_bА.П.
_4070
701 1 _aРокицкая
_bЯ.П.
_4070
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20050203
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
852 _aNLR
_jС315-410/Т-32
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER