000 01558nam2a22002531 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM29\5000109279
005 20050207144730.9
035 _a(NLR Aleph) 002728770
090 _a1942794
_c1942794
100 _a20050207d1983 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay ||||000|y
200 1 _aМетоды и аппаратура для пооперационного технологического контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур
_fВ.М. Курцин и др.
210 _d1983
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM29\5000109226
_12001#$aЭлектротехническая промышленность$eОбзор. информ.$hСерия 05$iСиловая преобразовательная техника$fВНИИ информ. и техн.-экон. исслед. в электротехнике. (Информэлектро)$v1983, Вып.1
_91942527
_cМ.
_d1983-
_fВНИИ информ. и техн.-экон. исслед. в электротехнике. (Информэлектро)
_hСерия 05
_iСиловая преобразовательная техника
_nИнформэлектро
_oОбзор. информ.
_tЭлектротехническая промышленность
_v1983, Вып.1
700 1 _aКурцин
_bВ. М.
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20050207
852 _aNLR
_jП10/5994
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER