| 000 | 01950nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1833475 | ||
| 005 | 20260405180238.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7256-0652-2 _9550 |
||
| 021 |
_aRU _b2011-82092 _95855 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001823968 | ||
| 090 |
_a2044623 _c2044623 |
||
| 100 | _a20111114d2011 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aКонспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" _fС.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
|
| 210 |
_aМосква _cМИЭТ _d2011 |
||
| 215 |
_a172 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 | _aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" | |
| 320 | _aБиблиогр.: с. 169-170 (27 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aНаноструктуры _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _xХимические методы _92118756 _3RU\NLR\auth\661583249 |
|
| 686 | _aЗ844.1-060.7я73-2 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aГаврилов _bС. А. _cд-р техн. наук, электроника _gСергей Александрович _3RU\NLR\auth\7733304 _916312 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aБелов _bА. Н. _cканд. техн. наук _gАлексей Николаевич _3RU\NLR\auth\7777219 _960147 |
|
| 701 | 1 |
_aЖелезнякова _bА. В. _gАнастасия Вячеславовна _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20111114 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20111114 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aNBR | ||