| 000 | 01868nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1833482 | ||
| 005 | 20250616165336.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7256-0647-8 _9500 |
||
| 021 |
_aRU _b2011-82093 _95855 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001823975 | ||
| 090 |
_a2044718 _c2044718 |
||
| 100 | _a20111114d2011 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aУчебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" _e[проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника] _fВ.И. Шевяков _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
|
| 210 |
_aМосква _cМИЭТ _d2011 |
||
| 215 |
_a95 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 | _aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" | |
| 320 | _aБиблиогр.: с. 93 (6 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xМеталлизация _92482209 _3RU\NLR\auth\661473414 |
|
| 606 | 1 |
_aКремниевые структуры _jУчебные издания для высших учебных заведений _92203755 _3RU\NLR\auth\661324127 |
|
| 686 | _aЗ843.322.4я73-1 | ||
| 686 | _aЗ844.15я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aШевяков _bВ. И. _gВасилий Иванович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20111114 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20111114 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aNBR | ||