| 000 | 01872nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1839764 | ||
| 005 | 20260408193324.0 | ||
| 010 |
_a978-5-94506-296-2 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _b2011-87720 _96258 |
||
| 035 | _a(nilc)RSL-KNO-005077248 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001830231 | ||
| 090 |
_a2128141 _c2128141 |
||
| 100 | _a20111114d2011 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТехнология литографических процессов _eучебное пособие _e[для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"] _fБ.А. Лапшинов _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)" |
|
| 210 |
_aМосква _cМосковский государственный институт электроники и математики _d2011 |
||
| 215 |
_a94 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 93 (4 назв.) | ||
| 606 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xФотолитографический метод _jУчебные издания для высших учебных заведений _3RU\NLR\auth\661327006 _92208899 |
||
| 686 |
_aЗ844.15-060.6я73-1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.15-06я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aЛапшинов _bБ. А. _gБорис Алексеевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRuMoRKP _c20111114 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bРГБ _c20111114 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20111128 _grcr |
|
| 830 | _aавт. раскрыт по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aNBR | ||