000 01729nam0a2200337 4500
001 RU\NLR\bibl\1844132
005 20260405232700.0
010 _a978-5-7256-0648
_9550
021 _aRU
_b2011-91095
_96519
035 _a(NLR Aleph) 001834572
090 _a2186493
_c2186494
100 _a20111207d2011 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aУчебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"
_fД.Г. Громов
_gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т элект. техники (техн. ун-т)
210 _aМосква
_cМИЭТ
_d2011
215 _a204 с.
_cил.
_d21
225 1 _aУчебно-методический комплекс для магистров
_iНаправление "Наноэлектроника"
320 _aБиблиогр.: с. 188-201 (159 назв.)
517 0 _aМеталлизация в системах с наноразмерными элементами
606 1 _aСверхбольшие интегральные схемы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xМеталлизация
_92482214
_3RU\NLR\auth\661473416
686 _aЗ844.15-060.7я73-1
700 1 _4070
_7ca
_8rus
_aГромов
_bД. Г.
_cд-р техн. наук, электроника
_gДмитрий Геннадьевич
_989399
_3RU\NLR\auth\77106474
801 0 _aRU
_bNLR
_c20111207
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20111207
830 _aавт. по кн.
942 _cBOOK
980 _aNB
980 _aNBR