000 01750nam0a2200349 4500
001 RU\NLR\bibl\1858914
005 20250616182030.0
010 _a978-5-7256-0663-8
_9550
021 _aRU
_b2011-101651
_97275
035 _a(NLR Aleph) 001848829
090 _a2373621
_c2373621
100 _a20120120d2011 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aУчебное пособие по дисциплине "Технология наносистем"
_fС.П. Тимошенков, В.В. Калугин
_gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"
210 _aМосква
_cМИЭТ
_d2011
215 _a199 с.
_cил.
_d21
225 1 _aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
606 1 _aКремний-диэлектрик, система
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_92203750
_3RU\NLR\auth\661324124
606 1 _aИнтегральные схемы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_91235370
_3RU\NLR\auth\66186470
686 _aЗ852-06я73-1
686 _aЗ844.15-06я73-1
700 1 _aТимошенков
_bС. П.
_f1957-
_gСергей Петрович
_3RU\NLR\AUTH\770273920
_4070
701 1 _aКалугин
_bВ. В.
_gВиктор Владимирович
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_c20120120
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20120120
942 _cBOOK
980 _aNB
980 _aNBR