| 000 | 01306nam1a2200313 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\47612 | ||
| 005 | 20260408185125.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000046452 | ||
| 090 |
_a246385 _c246385 |
||
| 100 | _a19990916g1998 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 1 |
_arus _ceng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_a[Распыление твердых тел ионной бомбардировкой] _fПод ред. Р. Бериша и К. Виттмака _gПер. с англ. под ред. д.ф.-м.н. В.А. Молчанова |
|
| 210 |
_aМ. _cМир _d1998 |
||
| 215 | _d22 | ||
| 225 | 1 | _aПроблемы прикладной физики | |
| 300 | _aЗагл. ориг.: Sputtering by Particle Bombardment III | ||
| 454 | 0 |
_12001#$aSputtering by Particle Bombardment III _tSputtering by Particle Bombardment III |
|
| 463 | 0 | _100144973 | |
| 606 | 0 |
_aТвердые тела _xРаспыление _91736336 _3RU\NLR\auth\661072635 |
|
| 606 |
_aЧастицы (физ.) _xВзаимодействие с поверхностью твердых тел _3RU\NLR\auth\661172105 _91934895 |
||
| 686 | _aВ333.13 | ||
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c19990916 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c19990916 |
|
| 852 |
_aNLR _j84-5/1923 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||