000 01306nam1a2200313 4500
001 RU\NLR\bibl\47612
005 20260408185125.0
035 _a(NLR Aleph) 000046452
090 _a246385
_c246385
100 _a19990916g1998 k y0rusy50 ca
101 1 _arus
_ceng
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _a[Распыление твердых тел ионной бомбардировкой]
_fПод ред. Р. Бериша и К. Виттмака
_gПер. с англ. под ред. д.ф.-м.н. В.А. Молчанова
210 _aМ.
_cМир
_d1998
215 _d22
225 1 _aПроблемы прикладной физики
300 _aЗагл. ориг.: Sputtering by Particle Bombardment III
454 0 _12001#$aSputtering by Particle Bombardment III
_tSputtering by Particle Bombardment III
463 0 _100144973
606 0 _aТвердые тела
_xРаспыление
_91736336
_3RU\NLR\auth\661072635
606 _aЧастицы (физ.)
_xВзаимодействие с поверхностью твердых тел
_3RU\NLR\auth\661172105
_91934895
686 _aВ333.13
801 0 _aRU
_bNLR
_c19990916
_gPSBO
801 1 _aRU
_bNLR
_c19990916
852 _aNLR
_j84-5/1923
942 _cBOOK
980 _aNB