| 000 | 02072nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\8304 | ||
| 005 | 20260406053404.0 | ||
| 010 |
_a5-7256-0156-0 _9200 |
||
| 021 |
_aRU _b98-11958 _9565565 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000008108 | ||
| 090 |
_a25615 _c25615 |
||
| 100 | _a19981123d1997 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _a||||||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aМатериалы и технология толстых пленок _eУчеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы" _fВ.З. Петрова, А.И. Тельминов, Р.Ф. Шутова _gПод. ред. к.т.н. А.И. Тельминова _gМ-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т) |
|
| 210 |
_aМ. _cМИЭТ _d1997 |
||
| 215 |
_a260 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 256-258 | ||
| 606 | 0 |
_aТолстые пленки _jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы _91175623 _3RU\NLR\auth\66154723 |
|
| 606 | 0 |
_aТолстые пленки _jУчебные издания для высшей школы _91175623 _3RU\NLR\auth\66154723 |
|
| 686 | _aЗ844.15я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aПетрова _bВ. З. _cд-р техн. наук _f1931- _gВалентина Захаровна _3RU\NLR\auth\778145 _9118062 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aТельминов _bА. И. _f1949- _gАлександр Ильич _3RU\NLR\auth\778146 _9118063 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aШутова _bР. Ф. _gРаиса Фроловна _3RU\NLR\auth\778147 _9118064 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c19981123 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c19981123 |
|
| 852 |
_aNLR _j98-3/3676 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||