000 02072nam0a2200337 4500
001 RU\NLR\bibl\8304
005 20260406053404.0
010 _a5-7256-0156-0
_9200
021 _aRU
_b98-11958
_9565565
035 _a(NLR Aleph) 000008108
090 _a25615
_c25615
100 _a19981123d1997 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _a|||||||||||||
200 1 _aМатериалы и технология толстых пленок
_eУчеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы"
_fВ.З. Петрова, А.И. Тельминов, Р.Ф. Шутова
_gПод. ред. к.т.н. А.И. Тельминова
_gМ-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
210 _aМ.
_cМИЭТ
_d1997
215 _a260 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 256-258
606 0 _aТолстые пленки
_jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы
_91175623
_3RU\NLR\auth\66154723
606 0 _aТолстые пленки
_jУчебные издания для высшей школы
_91175623
_3RU\NLR\auth\66154723
686 _aЗ844.15я73-1
700 1 _4070
_8rus
_7ca
_aПетрова
_bВ. З.
_cд-р техн. наук
_f1931-
_gВалентина Захаровна
_3RU\NLR\auth\778145
_9118062
701 1 _4070
_8rus
_7ca
_aТельминов
_bА. И.
_f1949-
_gАлександр Ильич
_3RU\NLR\auth\778146
_9118063
701 1 _4070
_8rus
_7ca
_aШутова
_bР. Ф.
_gРаиса Фроловна
_3RU\NLR\auth\778147
_9118064
801 0 _aRU
_bNLR
_c19981123
_gPSBO
801 1 _aRU
_bNLR
_c19981123
852 _aNLR
_j98-3/3676
942 _cBOOK
980 _aNB