| 000 | 01997nam0a2200361 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1882089 | ||
| 005 | 20240921092024.0 | ||
| 010 |
_a9785815808676 _9120 |
||
| 021 |
_aRU _b2012-15044 _91130 |
||
| 035 | _a(nilc)RSL-KNO-005402475 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001871849 | ||
| 090 |
_a2672169 _c2672169 |
||
| 100 | _a20120312d2011 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТехнология очистки подложек микро- и наноэлектроники _eучебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника" _fВ.Е. Филимонов, Н.И. Сушенцов _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Мар. гос. техн. ун-т" |
|
| 210 |
_aЙошкар-Ола _cМарГТУ _d2011 |
||
| 215 |
_a159 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 157-159 (24 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПодложки _xОбработка _91771612 _3RU\NLR\auth\66795590 |
|
| 610 | 0 | _aхимическое травление | |
| 686 |
_aЗ844.1-060.14я73-1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.15-06я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aФилимонов _bВ. Е. _gВиталий Евгеньевич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aСушенцов _bН. И. _gНиколай Иванович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRuMoRKP _c20120312 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bРГБ _c20120312 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20120320 _grcr |
|
| 830 | _aавт. по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||